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南大光電：ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目正處于光刻膠樣品驗證階段

2020-05-27 19:31:43

南大光電(300346)5月27日晚間披露股價異動公告，公司制備 ArF(193nm)光刻膠用的高純原材料來源于自主研發(fā)，研制出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶測試。目前“ArF 光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”正處于光刻膠樣品驗證階段，驗證過程預(yù)計需要12-18個月，甚至更長的時間。ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品后續(xù)是否能取得下游客戶的訂單，能否大規(guī)模進入市場仍存在較多的不確定性。

責(zé)編 趙慶

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