澎湃新聞 2020-06-18 13:25:49
據(jù)澎湃,韓國(guó)SK Materials于6月17日發(fā)布消息稱(chēng),已啟動(dòng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工序的氟化氫氣體的量產(chǎn)。日本經(jīng)濟(jì)新聞中文網(wǎng)報(bào)道稱(chēng),SK Materials生產(chǎn)的氟化氫據(jù)稱(chēng)達(dá)到了一定水平的高純度,三星電子和SK海力士將采用。報(bào)道稱(chēng),SK Materials已在韓國(guó)東部的榮州市的工廠啟動(dòng)量產(chǎn)。
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