每經(jīng)記者 朱成祥    每經(jīng)編輯 張海妮    

10月29日，上交所網(wǎng)站披露茂萊光學(xué)審核問(wèn)詢函回復(fù)。茂萊光學(xué)曾在招股說(shuō)明書（申報(bào)稿）中表示：“（公司）高精度光學(xué)器件應(yīng)用于光刻機(jī)設(shè)備中，為客戶提高了國(guó)產(chǎn)化率，為光刻機(jī)全面國(guó)產(chǎn)化提供了關(guān)鍵支撐。” 

根據(jù)回復(fù)函，光刻機(jī)相關(guān)業(yè)務(wù)2020年1~3月占營(yíng)收比重為16.16%。茂萊光學(xué)強(qiáng)調(diào)國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體光刻機(jī)制造商上海微電子是其核心客戶。但茂萊光學(xué)也表示：“截至2020年9月末，除上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司仍有部分逾期應(yīng)收賬款尚未收回外，其余應(yīng)收賬款均已收回。”

圖片來(lái)源：審核問(wèn)詢函回復(fù)截圖 

提供光刻機(jī)關(guān)鍵模塊？ 

茂萊光學(xué)是精密光學(xué)綜合解決方案提供商，專注于精密光學(xué)器件、高端光學(xué)鏡頭和先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)的研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造及銷售。在主營(yíng)業(yè)務(wù)介紹中，茂萊光學(xué)著重強(qiáng)調(diào)產(chǎn)品用于半導(dǎo)體光刻機(jī)，表示公司服務(wù)于全球半導(dǎo)體光刻機(jī)及檢測(cè)裝備、生命科學(xué)及醫(yī)療（如基因測(cè)序及核酸檢測(cè)）、航空航天、無(wú)人駕駛、生物識(shí)別、AR/VR檢測(cè)設(shè)備等應(yīng)用領(lǐng)域。 

茂萊光學(xué)主要有三大業(yè)務(wù)，分別為精密光學(xué)器件、高端光學(xué)鏡頭和先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)。2019年，這三大業(yè)務(wù)營(yíng)收分別為1.33億元、5523.54萬(wàn)元和3102.93萬(wàn)元，占總營(yíng)收比例分別為59.84%、24.89%和13.98%。 

用于光刻機(jī)的核心器件，則是半導(dǎo)體光學(xué)透鏡。該產(chǎn)品屬于茂萊光學(xué)精密光學(xué)器件業(yè)務(wù)，在公司產(chǎn)品中也是第一個(gè)介紹的。茂萊光學(xué)表示：“（半導(dǎo)體光學(xué)透鏡）用于半導(dǎo)體光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中耦合、中繼照明模塊，是光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)光線均勻性的關(guān)鍵模塊。” 

方正證券曾這樣描述光刻機(jī)的工作原理：在IC制作過(guò)程中，光束穿過(guò)掩模及鏡片，經(jīng)物鏡補(bǔ)償光學(xué)誤差，將線路圖曝光在帶有光感涂層的硅晶圓上，然后顯影在硅片上。激光器作為光源，物鏡補(bǔ)償光學(xué)誤差，是光刻機(jī)的核心設(shè)備，光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)一般由近20個(gè)直徑為200~300mm的透鏡組成。 

光刻機(jī)的構(gòu)造一般分為照明系統(tǒng)（光源+產(chǎn)生均勻光的光路）、Stage系統(tǒng)（包括Reticle Stage和Wafer Stage）、鏡頭組（光刻機(jī)的核心）、搬送系統(tǒng)（Wafer Handler+ Reticle Handler）、Alignment系統(tǒng)（WGA，LSA，F(xiàn)IA）。照明系統(tǒng)是光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的重要組成部分，只有高質(zhì)量的照明系統(tǒng)，才可充分發(fā)揮曝光系統(tǒng)成像的需要。

圖片來(lái)源：茂萊光學(xué)招股書（申報(bào)稿）截圖 

目前，光刻機(jī)“一哥”ASML的鏡片便是以蔡司技術(shù)打底，長(zhǎng)期以來(lái)為ASML的光刻設(shè)備提供最關(guān)鍵且高效能的光學(xué)系統(tǒng)。從這個(gè)角度看，茂萊光學(xué)對(duì)標(biāo)的是蔡司。 

但茂萊光學(xué)列舉的主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手中，則并沒(méi)有蔡司。而是以美國(guó)Newport公司（主營(yíng)激光光源）、德國(guó)Jenoptik（主營(yíng)工業(yè)測(cè)量技術(shù)產(chǎn)品），以及國(guó)內(nèi)的福光股份（主營(yíng)高端光學(xué)鏡頭）、永新光學(xué)（主營(yíng)顯微鏡系統(tǒng)）、福特科（主營(yíng)精密光學(xué)器件）作為競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。

作為茂萊光學(xué)在精密光學(xué)器件領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，福特科的主要產(chǎn)品包括安防監(jiān)控鏡頭、高清智能交通鏡頭、機(jī)器視覺(jué)鏡頭和汽車機(jī)載鏡頭。 

打入上海微電子供應(yīng)鏈，但應(yīng)收賬款回款較差

在茂萊光學(xué)的公司介紹中，其把半導(dǎo)體光刻機(jī)及檢測(cè)放在一起，但是這兩類產(chǎn)品在技術(shù)難度上差距很大。其中，光刻機(jī)是前道七大設(shè)備之首，而檢測(cè)則屬于后道設(shè)備。相比于前道光刻機(jī)，檢測(cè)設(shè)備的技術(shù)難度要小得多。

圖片來(lái)源：茂萊光學(xué)招股書（申報(bào)稿）截圖 

在半導(dǎo)體檢測(cè)及制造領(lǐng)域，茂萊光學(xué)主要客戶包括上海微電子、Camtek和CYBEROPTICS等。這三家公司中，僅有CYBEROPTICS兩次出現(xiàn)在三年一期前五大客戶中。根據(jù)CYBEROPTICS官網(wǎng)，“（公司是）高精度3D傳感技術(shù)解決方案的全球領(lǐng)先開發(fā)商和制造商。公司傳感器用于SMT和半導(dǎo)體市場(chǎng)的檢查和計(jì)量，可顯著提高良率和生產(chǎn)率。 

這意味著，CYBEROPTICS并非從事光刻機(jī)業(yè)務(wù)，因而茂萊光學(xué)三年一期前五大客戶中，沒(méi)有一家光刻機(jī)廠商。 

而上海微電子則出現(xiàn)在茂萊光學(xué)前五大應(yīng)收賬款名單中。不過(guò)，上海微電子的回款情況，卻是主要應(yīng)收款項(xiàng)債務(wù)人中最差的。截至2019年末，茂萊光學(xué)對(duì)上海微電子應(yīng)收賬款515.24萬(wàn)元，應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)天數(shù)為210天，期后回款比例為76.88%；2020年3月末，公司對(duì)上海微電子應(yīng)收賬款上升至526.16萬(wàn)元，應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)天數(shù)進(jìn)一步上升至698天，期后回款比例為62.94%。

封面圖片來(lái)源：攝圖網(wǎng)