每經(jīng)編輯 周宇翔

上海新陽3月11日晚間公告，近日，參股公司芯刻微公司（上海新陽持有芯刻微38%的股權(quán)）委托盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體材料有限公司代理投標(biāo)，成功中標(biāo)購得ASML XT 1900 Gi型二手光刻機(jī)一臺(tái)，該設(shè)備可用于研發(fā)分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠。

公告稱，3月11日，芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期貨款購入該光刻機(jī)，剩余90%六個(gè)月內(nèi)付清。后續(xù)公司將啟動(dòng)設(shè)備的運(yùn)輸及相關(guān)安裝調(diào)試等工作。

上海新陽表示，公司采購的ASML浸沒式光刻機(jī)設(shè)備是對(duì)公司ArF濕法光刻膠技術(shù)先進(jìn)性的設(shè)備保障，對(duì)加快公司集成電路制造用光刻膠產(chǎn)品研發(fā)項(xiàng)目進(jìn)度有積極影響，有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，加速落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力。

本次購買的光刻機(jī)尚須經(jīng)過運(yùn)輸、裝機(jī)、調(diào)試及投入相關(guān)配套設(shè)施，若以上環(huán)節(jié)出現(xiàn)工作疏漏或失誤則存在造成所購買的光刻機(jī)投入使用的過程較長甚至無法投入使用的風(fēng)險(xiǎn)。

公告稱，光刻膠產(chǎn)品在集成電路材料中技術(shù)難度大，質(zhì)量要求最高，開發(fā)周期長，且核心技術(shù)及原材料幾乎被國外廠商所壟斷。因此，存在著研發(fā)失敗和研發(fā)計(jì)劃滯后的風(fēng)險(xiǎn)，提醒投資者注意投資風(fēng)險(xiǎn)。

值得注意的是，這不是上海新陽近期第一次發(fā)布有關(guān)光刻機(jī)的信息。本月初，上海新陽曾公告稱，此前購買的一臺(tái)二手光刻機(jī)進(jìn)入到合作方場地。

上海新陽今年3月8日曾發(fā)布公告，公司自立項(xiàng)開發(fā)193nm ArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以來，安排購買了ASML-1400光刻機(jī)等核心設(shè)備。該光刻機(jī)設(shè)備已于公告當(dāng)天進(jìn)入合作方場地。

而根據(jù)此前上海新陽在投資者互動(dòng)平臺(tái)上的答復(fù)，上述ASML-1400光刻機(jī)同樣為二手設(shè)備，購買價(jià)格約1億元。