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晶盛機電:公司近年布局的第三代半導體材料碳化硅的研發(fā)取得關鍵進展,成功生長出6英寸碳化硅晶體,碳化硅外延設備已通過客戶驗證

每日經濟新聞 2021-07-05 11:52:04

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:董秘您好!請問我公司在寧夏開展的碳化硅中試線進展如何?有沒有取得突破性進展的參數?

晶盛機電(300316.SZ)7月5日在投資者互動平臺表示,您好,感謝您對公司的關注。公司近年布局的第三代半導體材料碳化硅的研發(fā)取得關鍵進展,成功生長出6英寸碳化硅晶體,碳化硅外延設備已通過客戶驗證。同時在碳化硅晶體生長、切片、拋光環(huán)節(jié)規(guī)劃建立測試線,以實現裝備和工藝技術的領先,目前測試線進展順利,設備分批進廠安裝調試中。

(記者 蔡鼎)

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