每經(jīng)訊，啟明星12月31日發(fā)布公告稱，公司近日與中國建筑材料科學(xué)研究總院有限公司針對“集成電路制造裝備用精密碳化硅陶瓷部件產(chǎn)業(yè)化”項目實施相關(guān)的專利許可簽訂了《專利實施許可合同》。此項目針對高端光刻機為代表的集成電路制造裝備對精密碳化硅陶瓷的迫切需求，開展精密碳化硅陶瓷部件產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)研究，攻克精密碳化硅陶瓷部件關(guān)鍵批量制備技術(shù)及精密加工技術(shù)，形成精密碳化硅陶瓷部件產(chǎn)業(yè)化，實現(xiàn)“國產(chǎn)化替代”，擺脫“受制于人”，實現(xiàn)自主可控，為我國集成電路制造裝備的國產(chǎn)化奠定基礎(chǔ)。

(記者 湯輝)

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