每經(jīng)記者 朱成祥    每經(jīng)編輯 陳俊杰    

“攀登勇者，志在巔峰”，中微公司（688012，SH）董事長(zhǎng)尹志堯在公司2021年年報(bào)董事長(zhǎng)致辭中寫道。

尹志堯“志在巔峰”的底氣，是中微公司在刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備兩大領(lǐng)域齊發(fā)力的成果。

“今年（2021年）到目前為止，用于3D NAND應(yīng)用的Primo HD-RIE和用于7納米及以下節(jié)點(diǎn)邏輯應(yīng)用的Primo AD-RIE-e占設(shè)備總出貨量的50%。”中微公司官網(wǎng)介紹。

3D NAND是閃存領(lǐng)域最先進(jìn)的產(chǎn)品，而7納米及以下節(jié)點(diǎn)芯片，世界范圍內(nèi)也只有臺(tái)積電、三星等極少數(shù)晶圓廠具備制造能力。

但要注意的是，半導(dǎo)體行業(yè)具有一定的周期性特征。中微公司也表示，在行業(yè)景氣度提升過程中，產(chǎn)業(yè)往往加大資本性支出，快速提升對(duì)相關(guān)設(shè)備的需求；在行業(yè)景氣度下降過程中，產(chǎn)業(yè)則可能削減資本支出，進(jìn)而對(duì)設(shè)備的需求產(chǎn)生不利影響。

國(guó)內(nèi)刻蝕設(shè)備龍頭

尹志堯是刻蝕設(shè)備專家，其于1986年加入Lam Research（泛林半導(dǎo)體）并引領(lǐng)了刻蝕技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)為一些關(guān)鍵產(chǎn)品帶來了解決方案。在成立中微之前，尹志堯在應(yīng)用材料公司任職13年，曾擔(dān)任公司副總裁、等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲區(qū)采購(gòu)副總裁、應(yīng)用材料亞洲首席技術(shù)官等。

他的職業(yè)生涯，與刻蝕設(shè)備分不開。曾任職的兩家公司也是全球前三的刻蝕設(shè)備廠商。根據(jù)Gartner 2019年統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，泛林半導(dǎo)體、東京電子和應(yīng)用材料分別占據(jù)了全球44.7%、28.0%、18.1%的市場(chǎng)份額。

在尹志堯的帶領(lǐng)下，中微公司逐漸成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)刻蝕設(shè)備龍頭。在Gartner 2019年統(tǒng)計(jì)中，中微公司刻蝕設(shè)備全球排名第六，市占率為1.1%。

2021年，中微公司營(yíng)業(yè)收入31.08億元，同比增長(zhǎng)36.72%。其中，刻蝕設(shè)備收入20.04億元，同比增長(zhǎng)約55.44%，毛利率為44.32%。

中微公司主要產(chǎn)品可分為CCP刻蝕設(shè)備、ICP刻蝕設(shè)備以及MOCVD設(shè)備。

刻蝕設(shè)備技術(shù)方面，中微公司相關(guān)設(shè)備可用于邏輯芯片先進(jìn)制程、3D NAND芯片的生產(chǎn)。公司開發(fā)的12英寸高端刻蝕設(shè)備已運(yùn)用在國(guó)際知名客戶65納米到5納米等先進(jìn)的芯片生產(chǎn)線。同時(shí)，公司根據(jù)先進(jìn)集成電路廠商的需求，已開發(fā)出5納米及更先進(jìn)刻蝕設(shè)備用于若干關(guān)鍵步驟的加工，并已獲得行業(yè)領(lǐng)先客戶的批量訂單。公司目前正在配合客戶需求，開發(fā)新一代刻蝕設(shè)備和包括更先進(jìn)大馬士革在內(nèi)的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下更多刻蝕需求和更多不同關(guān)鍵應(yīng)用的設(shè)備。

事實(shí)上，目前全球能生產(chǎn)5納米及以下先進(jìn)制程芯片的晶圓廠，唯有臺(tái)積電、三星。

在3D NAND領(lǐng)域，中微公司電容性等離子體刻蝕設(shè)備可應(yīng)用于64層和128層的量產(chǎn)，同時(shí)公司根據(jù)存儲(chǔ)器廠商的需求正在開發(fā)新一代能夠涵蓋128層及以上關(guān)鍵刻蝕應(yīng)用以及相對(duì)應(yīng)的極高深寬比的刻蝕設(shè)備和工藝。

此外，中微公司正在進(jìn)行下一代產(chǎn)品的技術(shù)研發(fā)，以滿足5納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產(chǎn)品的ICP刻蝕需求，并進(jìn)行高產(chǎn)出的ICP刻蝕設(shè)備的研發(fā)。

對(duì)于刻蝕設(shè)備業(yè)務(wù)的發(fā)展，尹志堯在董事長(zhǎng)致辭中表示：“公司CCP等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品持續(xù)保持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，在國(guó)內(nèi)外一線客戶的邏輯和存儲(chǔ)芯片制造生產(chǎn)線上，包括先進(jìn)的5納米芯片生產(chǎn)線和下一代的試生產(chǎn)線上，持續(xù)提升市場(chǎng)占有率，在部分關(guān)鍵客戶市場(chǎng)占有率已進(jìn)入前三位甚至前二位。”

趕上Mini LED風(fēng)口

在很多投資者的印象里，中微公司是刻蝕設(shè)備龍頭。其實(shí)，中微公司的MOCVD產(chǎn)品在LED設(shè)備市場(chǎng)也有較大影響力，特別是Mini LED風(fēng)潮漸起之時(shí)。

根據(jù)TrendForce集邦咨詢報(bào)道，隨著Mini LED背光顯示滲透率的提升，以及Mini LED直接顯示逐漸進(jìn)入商顯等市場(chǎng)，Mini/Micro LED新型顯示帶來的LED外延片需求量將快速增長(zhǎng)。

平安證券研報(bào)顯示，MOCVD設(shè)備是LED制造的關(guān)鍵設(shè)備，采購(gòu)金額占產(chǎn)線投入的50%以上。2021年被稱為 Mini LED元年，GGII統(tǒng)計(jì)，年內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)鏈超過8成的投資集中于LED顯示尤其是 Mini/Micro LED領(lǐng)域，Mini LED產(chǎn)能投資推升了MOCVD需求。

而中微公司，正是MOCVD設(shè)備重要提供商，根據(jù)IHS Markit統(tǒng)計(jì)，2018年中微公司的 MOCVD占據(jù)全球氮化鎵基LED用MOCVD新增市場(chǎng)的41%；尤其在2018年下半年，中微公司的 MOCVD更是占據(jù)了全球新增氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場(chǎng)的60%以上。

中微公司于2021年6月發(fā)布了用于高性能Mini LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備PrismoUniMax，半年內(nèi)即已收到來自國(guó)內(nèi)多家領(lǐng)先客戶的批量訂單合計(jì)超過100腔，并且不斷收到更多的訂單。

3月29日，中微公司又于官方微信號(hào)宣布，全資子公司南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司收到兆馳科技52腔MOCVD設(shè)備采購(gòu)訂單。

作為技術(shù)密集型行業(yè)，中微公司MOCVD業(yè)務(wù)的發(fā)展離不開人才。中微公司官網(wǎng)顯示，其領(lǐng)導(dǎo)團(tuán)隊(duì)中與MOCVD業(yè)務(wù)相關(guān)的主要有副總裁、南昌中微兼MOCVD中國(guó)區(qū)總經(jīng)理季華；副總裁，MOCVD產(chǎn)品部總經(jīng)理郭世平。

公司官網(wǎng)對(duì)季華的描述是“領(lǐng)導(dǎo)中國(guó)區(qū)團(tuán)隊(duì)積極推進(jìn)MOCVD設(shè)備銷售服務(wù)，在三年內(nèi)實(shí)現(xiàn)爆發(fā)式的銷售業(yè)務(wù)成長(zhǎng)，負(fù)責(zé)南昌中微公司的建立和運(yùn)營(yíng)。”

郭世平則主要從事MOCVD設(shè)備的開發(fā)和管理工作，具有多年從事化合物半導(dǎo)體材料外延工藝開發(fā)、設(shè)備研發(fā)及營(yíng)運(yùn)的經(jīng)驗(yàn)。2006年至2012年，郭世平在美國(guó)IQE-RF公司歷任資深研究員，氮化鎵部門營(yíng)運(yùn)和研發(fā)總監(jiān)，主要從事氮化鎵晶體管和發(fā)光材料MOCVD外延生長(zhǎng)的研發(fā)和營(yíng)運(yùn)工作。

而氮化鎵，正是第三代半導(dǎo)體的一種。并且，第三代半導(dǎo)體也是MOCVD設(shè)備的一大應(yīng)用方向。中微公司表示：“針對(duì)化合物半導(dǎo)體功率器件市場(chǎng)應(yīng)用的快速發(fā)展，公司正在開發(fā)硅基氮化鎵及碳化硅功率器件專用的外延設(shè)備，不斷豐富公司設(shè)備的產(chǎn)品線，強(qiáng)化公司在第三代半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。”

不過，中微公司也提示風(fēng)險(xiǎn)道，近年來，晶圓廠和 LED 外延片制造商審慎地進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)。不能排除下游個(gè)別晶圓廠和 LED 外延片制造商的后續(xù)投資不及預(yù)期，對(duì)相關(guān)設(shè)備的采購(gòu)需求減弱，這將影響公司的訂單量，進(jìn)而對(duì)公司的業(yè)績(jī)產(chǎn)生不利影響。

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