每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問一下上海精測半導體所生產(chǎn)的檢測機產(chǎn)品屬于納米級電子束缺陷檢測裝備（EBI）和關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）大類嗎？在國際上的產(chǎn)品競爭力如何？

精測電子（300567.SZ）9月21日在投資者互動平臺表示，現(xiàn)階段，上海精測的主要產(chǎn)品有膜厚量測系統(tǒng)、光學關鍵尺寸量測系統(tǒng)、電子束缺陷檢測系統(tǒng)、明場晶圓有圖形缺陷檢測設備、大硅片應力形貌量測設備等，其中電子束產(chǎn)品主要屬于電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）。

(記者 畢陸名)

免責聲明：本文內容與數(shù)據(jù)僅供參考，不構成投資建議，使用前核實。據(jù)此操作，風險自擔。