每經(jīng)AI快訊， 芯源微在接受調(diào)研時表示，此前公司首臺浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機順利運付客戶現(xiàn)場，并完成了各項工藝驗證及光刻機聯(lián)機產(chǎn)能驗證。機臺與國際主流光刻機聯(lián)機作業(yè)，完成了客戶端十余款光阻、多層layer量產(chǎn)驗證，數(shù)據(jù)均達(dá)到客戶量產(chǎn)指標(biāo)。浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機的發(fā)布，標(biāo)志著公司在前道涂膠顯影領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了對28nm及以上所有工藝節(jié)點的全覆蓋，即可實現(xiàn)全面國產(chǎn)替代。