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南大光電：公司氟類電子特氣如三氟化氮主要用于芯片制造中的腔體清洗、蝕刻工藝

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-04-04 16:41:54

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：麻煩問下，咱南大光電產(chǎn)品系中，除了光刻外，在芯片的清潔、沉積、蝕刻等，還有對應(yīng)的產(chǎn)品嗎？

南大光電（300346.SZ）4月4日在投資者互動平臺表示，公司氟類電子特氣如三氟化氮主要用于芯片制造中的腔體清洗、蝕刻工藝。

(記者 王可然)

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