每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司海納股份（873995）新增專利信息，專利權(quán)人為海納股份，發(fā)明人是張慶旭、吳雄杰、余天威、白超、聶早早、王志雄、徐暉、代明明、劉偉、徐佳俊。專利授權(quán)日為2023年6月23日，專利名稱為“一種低壓氣相沉積用硅片載舟”，專利類型為中國實(shí)用新型專利，專利申請?zhí)枮镃N202223166032.8。

該專利摘要顯示：本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種低壓氣相沉積用硅片載舟，包括舟體和靠板，舟體包括支架、下刻槽石英棒、與下刻槽石英棒相連的左刻槽石英棒、右刻槽石英棒，靠板尺寸小于加工硅片尺寸，其外形為等邊三棱柱。本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)臥式低壓氣相爐沉積過程中硅片“背靠背”生長，極大的提高了加工效率，硅片傾斜放置可以避免生長多晶硅膜一面與石英舟的直接接觸，略小于加工硅片的尺寸可以減少在沉積后取樣過程中對多晶硅薄膜的物理破壞。本實(shí)用新型具有使用效果好、結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉之優(yōu)點(diǎn)。

(記者 曾健輝)

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