每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問董秘，貴司說一季度21億新簽訂單中制程設備2.12億，是指清洗設備嗎？貴司友商盛美稱公司的清洗設備已經(jīng)覆蓋90-95%的清洗工藝，并稱新客戶在今年銷售份額里占有較大比重。請問貴司清洗設備的覆蓋工藝程度以及今年在半導體行業(yè)清洗設備新簽訂單的趨勢如何？

至純科技（603690.SH）6月29日在投資者互動平臺表示，公司制程設備覆蓋半導體領域的各類設備，以濕法清洗設備為主。公司濕法清洗設備在28納米全部工藝工序段已通過驗證并有重復訂單。公司還領先突破了原來由國外壟斷的單片SPM設備。

(記者 蔡鼎)

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