每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：董秘你好，公司2023年上半年已經(jīng)取得一種光刻機(jī)運(yùn)動軌跡規(guī)劃方法的專利，是否未來可以用于光刻機(jī)上？謝謝

固高科技（301510.SZ）9月12日在投資者互動平臺表示，公司長期專注于運(yùn)動控制及智能制造的核心技術(shù)研發(fā)，面向以半導(dǎo)體精密加工裝備、工業(yè)機(jī)器人、數(shù)控機(jī)床為代表的高端設(shè)備領(lǐng)域形成了運(yùn)動控制、伺服驅(qū)動、多維感知、工業(yè)現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)、工業(yè)軟件等自主可控的技術(shù)、產(chǎn)品體系。 具體在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，公司的部件、系統(tǒng)類產(chǎn)品在芯片后道封裝設(shè)備中已有一定應(yīng)用部署量；在以光刻、蝕刻、清洗為代表的半導(dǎo)體前道設(shè)備內(nèi)所需的控制、伺服等技術(shù)、產(chǎn)品，公司也一直在持續(xù)研發(fā)迭代技術(shù)與產(chǎn)品，并積極拓展相關(guān)應(yīng)用場景。 整體來看，公司認(rèn)為未來五到十年是半導(dǎo)體前道設(shè)備國產(chǎn)化機(jī)遇期，也是其中伺服控制部件、系統(tǒng)等產(chǎn)品的重要機(jī)遇期，企業(yè)將持續(xù)迭代、完善技術(shù)與產(chǎn)品，完成產(chǎn)業(yè)化能力建設(shè)，服務(wù)行業(yè)。短期內(nèi)，公司相關(guān)部件、系統(tǒng)在半導(dǎo)體前道設(shè)備中相關(guān)業(yè)務(wù)對企業(yè)整體營收影響有限，請投資者謹(jǐn)慎關(guān)注。

(記者 尹華祿)

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