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英諾激光:公司產(chǎn)品以碳化硅退火制程的激光器為主

每日經(jīng)濟新聞 2023-10-24 15:59:56

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:在納米壓印領域,貴公司有哪些產(chǎn)品、技術和解決方案?

英諾激光(301021.SZ)10月24日在投資者互動平臺表示,在半導體領域,公司產(chǎn)品以碳化硅退火制程的激光器為主,亦有少量應用在硅基半導體檢測等關鍵制程的紫外和深紫外等激光器,客戶以國外知名半導體裝備公司為主。

(記者 畢陸名)

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