每經(jīng)記者 朱成祥    每經(jīng)編輯 董興生    

1月2日上午，ASML（阿斯麥）方面向《每日經(jīng)濟(jì)新聞》記者提供的資料顯示，荷蘭政府部分撤銷了此前頒發(fā)的NXT:2050i和NXT:2100i光刻機(jī)在2023年發(fā)貨的出口許可證，這將對ASML在中國內(nèi)地的個別客戶產(chǎn)生影響。

根據(jù)ASML官網(wǎng)消息，其浸沒式DUV光刻機(jī)主要包括NXT:2100i、NXT:2050i、NXT2000i和NXT1980Di，此次荷蘭政府部分撤銷出口許可證的兩種型號DUV光刻機(jī)，為其繼NXT2000i之后推出的兩種最新的浸沒式DUV光刻機(jī)。

除了EUV光刻機(jī)、浸沒式DUV光刻機(jī)，ASML還生產(chǎn)銷售干式ArF（氟化氬）光刻機(jī)、KrF（氟化氪）光刻機(jī)以及i線光刻機(jī)。

ASML表示，美國政府在近期與ASML的溝通中，對其出口管制的適用范圍和影響進(jìn)行了進(jìn)一步澄清。美國2023年10月17日發(fā)布最新出口管制規(guī)則，限制向個別先進(jìn)芯片制造晶圓廠發(fā)運(yùn)特定型號的中高端DUV浸潤式光刻機(jī)。

ASML稱，公司持續(xù)致力于遵守經(jīng)營所在國家/地區(qū)所有適用的法律和法規(guī)，包括出口管制法規(guī)。預(yù)計此次出口許可證撤銷及最新的美國出口管制限制不會對公司2023年的財務(wù)情況產(chǎn)生重大影響。

2023年9月，ASML曾回復(fù)《每日經(jīng)濟(jì)新聞》記者稱，目前，ASML已向荷蘭政府提出NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)的出口許可證申請，荷蘭政府也已經(jīng)頒發(fā)了截至2023年9月1日所需的許可證，允許ASML2023年繼續(xù)發(fā)運(yùn)NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)。

彼時，ASML表示，公司客戶也已知悉出口管制條例所帶來的限制，即自2024年1月1日起，ASML將基本不會獲得向中國客戶發(fā)運(yùn)這些設(shè)備的出口許可證。

1月2日，針對美國已經(jīng)要求ASML停止向中國出口某些型號的光刻機(jī)，外交部發(fā)言人汪文斌主持例行記者會時回應(yīng)，我們注意到有關(guān)的報道，中方一貫反對美國泛化國家安全概念，以各種借口脅迫其他國家搞對華科技封鎖。半導(dǎo)體是高度全球化的產(chǎn)業(yè)，在各國經(jīng)濟(jì)深度融合的背景下，美方有關(guān)霸道、霸凌行徑嚴(yán)重違背國際貿(mào)易規(guī)則，嚴(yán)重破壞全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局，嚴(yán)重沖擊國際產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈的安全和穩(wěn)定，必將自食其果。