2月29日，A股尾盤上攻，上證指數(shù)收漲1.94%，深證成指、創(chuàng)業(yè)板指漲逾3%，科創(chuàng)50漲逾4%。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈爆發(fā)，光刻機方向領(lǐng)漲。截至今日收盤，半導(dǎo)體材料ETF（562590）收漲8.48%，持續(xù)領(lǐng)漲全市場，權(quán)重股中微公司漲超10%，北方華創(chuàng)漲近9%。

消息面上，多家半導(dǎo)體材料公司發(fā)布業(yè)績快報或年報，均超分析師預(yù)期。中微公司、盛美上海營收、凈利潤均取得較大幅度增長。

廣發(fā)證券指出，近年來，在日益復(fù)雜的外部環(huán)境下，半導(dǎo)體設(shè)備作為“卡脖子”的關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)，其重要性不斷提升。作為全球主要半導(dǎo)體設(shè)備市場之一，隨著國內(nèi)晶圓產(chǎn)能的持續(xù)擴張，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的市場規(guī)模有望不斷增長。對于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商而言，其驅(qū)動力除了行業(yè)規(guī)模的自然擴張，還包括在國內(nèi)市場的國產(chǎn)替代。當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率持續(xù)提升，國產(chǎn)替代驅(qū)動的份額提升，將為行業(yè)貢獻可觀的成長速度和空間。

半導(dǎo)體材料ETF（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357）跟蹤中證半導(dǎo)體材料設(shè)備指數(shù)，指數(shù)中半導(dǎo)體設(shè)備（47.92%）、半導(dǎo)體材料（20.99%）占比靠前，合計權(quán)重近70%，充分聚焦指數(shù)主題。前十大成分股覆蓋半導(dǎo)體設(shè)備及材料的各個環(huán)節(jié)，中微公司、北方華創(chuàng)、滬硅產(chǎn)業(yè)、TCL科技、雅克股份均在其中，既有刻蝕機、薄膜積淀、硅片、面板等龍頭，也有近期大熱的光刻膠優(yōu)勢標(biāo)的。