截至5月27日13:16，中證半導體材料設備主題指數(shù)強勢上漲1.84%，成分股南大光電上漲8.07%，晶瑞電材上漲7.99%，雅克科技上漲5.72%，北方華創(chuàng)，江化微等個股跟漲。半導體材料ETF（562590）上漲1.72%，最新價報0.83元，換手率2.06%。

瑞銀證券中國科技硬件行業(yè)分析師俞佳認為，去年下半年下游需求改善，國內半導體資本支出趨于活躍，預計此后3~4個季度會有反饋，今年半導體設備業(yè)績增長情況有望優(yōu)于去年。目前來看，產業(yè)鏈自給自足的信心在加強，頭部設備廠商競爭力在進一步加強，看好刻蝕為代表的設備廠商，以及良測等國產化率處于比較早期的設備領域；另外，關注中國晶圓廠的投資方向，相對應的設備廠商也有望更受益。

在國產替代以及需求擴張的催化下，半導體材料的投資具備極高的配置價值。半導體材料ETF（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357）緊密跟蹤中證半導體材料設備指數(shù)，指數(shù)中半導體設備（47.92%）、半導體材料（20.99%）占比靠前，合計權重近70%，充分聚焦指數(shù)主題。年初至今，半導體材料ETF（562590）份額增長率達到87%，體現(xiàn)投資者對這一板塊配置信心。