每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司元泰智能（839156）新增專利信息，專利權(quán)人為元泰智能，發(fā)明人是賀競?cè)?、朱俊杰、杜王杰。專利授?quán)日為2024年8月13日，專利名稱為“一種模塊化高效晶圓取料裝置”，專利類型為中國實(shí)用新型專利，專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202323565059.9。

該專利摘要顯示：本實(shí)用新型公開了一種模塊化高效晶圓取料裝置，其包括殼體以及設(shè)置在所述殼體上的至少一個(gè)取料單元，每個(gè)所述取料單元包括驅(qū)動(dòng)模組以及受所述驅(qū)動(dòng)模組驅(qū)動(dòng)進(jìn)行獨(dú)立運(yùn)動(dòng)的第一取料叉與第二取料叉，所述第一取料叉與所述第二取料叉呈高度錯(cuò)位分布且在所述殼體的上方空間內(nèi)進(jìn)行水平伸縮運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型能夠從疊層晶圓料盒中實(shí)現(xiàn)多片晶圓的高效取放，提高產(chǎn)能，模塊化設(shè)計(jì)應(yīng)用靈活，空間占用小。

(記者 曾健輝)

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